光学显微镜在失效分析中有哪些应用？

失效分析过程中，样品形貌主要通过光学显微镜观察和记录，光学显微镜可以提供几倍到上千倍的放大倍数，另外光学显微镜对半导体的某些多层结构具有透明性，比如二氧化硅钝化层。光学显微镜要求样品是固体，在高倍观测时由于景深的限制，要求样品表面要平坦。应用显微镜一般是先通过低倍显微镜观察整体形貌和缺陷，然后用高倍....